研究内容
研究内容
電子デバイス研究
湿度センサーは、部屋の湿度を知るためだけではなく、エアコン、電子調理機器、美容機器などの電子機器内に使われています。また、湿度管理を必要としている化学工場、バイオ関連の工場などでも必要不可欠なセンサーです。
当研究室では、新しい感湿特性を持つセラミックス材料の開発を行っています。更にこの材料をナノテクを使って、髪の毛の太さの千分の一くらいの厚さのナノ薄膜にし、急な湿度変化があった場合に、瞬時に対応できるような、トップクラスの感湿応答特性を持つ湿度センサーを作成しています。
研究は、ナノテクの薄膜作成装置や分析装置がたくさん並んでいる「ハイテクリサーチセンター」で行われ、最先端で高度な技術を習得することができます。
ハイテクリサーチセンター
多元電子ビーム蒸着装置(薄膜作成装置)
X線分析装置
作成した湿度センサー